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各行業(yè)中無塵車間的溫濕度標準

各行業(yè)中無塵車間的溫濕度標準

無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、**等污染物排除,并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度、噪聲、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計的空間。

無塵車間對于溫濕度的控制主要取決于其生產(chǎn)工藝。但在滿足加工工藝的條件下,還應考慮到車間內(nèi)人的舒適感。因為人出汗以后,對產(chǎn)品產(chǎn)生污染。那么,各行業(yè)中無塵車間的溫濕度標準到底有什么不同呢?

一、精密機械加工業(yè)

在精密機械加工和計量等場合,為了防止因熱膨脹而引起的誤差,保持工作環(huán)境溫度的均一性。工件溫度的允許波動幅度應根據(jù)加工精度決定。例如,在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線,工藝允許線間公差為2um,其中l(wèi)um為尺溫變化所引起的形變誤差,另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量=0.20C[a為尺線膨脹系數(shù),取10/um/(m?K);l為尺長,m],故工件溫度變化需在: 以內(nèi)。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性,空氣溫度的波動傳人工件后,就要衰減。在設(shè)計恒溫系統(tǒng)時,一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù),故相應的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此,在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動控制時,須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動態(tài)特性。

二、電子制造業(yè)

在電子行業(yè)制造車間是zui重要產(chǎn)生靜電的地方,通常靜電會對產(chǎn)品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故,所以電子行業(yè)的無塵車間相對濕度不應低于30%,這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生,通常建議無塵車間的防靜電區(qū)域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚,電子廠無塵車間無特殊要求的情況下,溫度控制在22 ℃ 左右,相對濕度控制在 55 ~ 60%RH 之間,在這種環(huán)境下,人們感覺舒適,靜電也消失了。

三、生物制藥業(yè)

在生物制藥的無塵車間中對易吸潮藥品的相對濕度要求45%50%RH(夏季),片劑等固體制劑50%55%RH,水針及口服液55%~65%RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產(chǎn)質(zhì)量。

四、集成電路生產(chǎn)加工行業(yè)

在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

五、食品生產(chǎn)業(yè)

食品,保健品,飲料等車間對對生產(chǎn)潔凈度要**比較高的,通常為10萬級至萬級以上,但同時車間的濕度越低越容易滋生**,**和其他生物污染(霉菌,病毒,**,螨蟲)在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時,可以使**的影響以及呼吸道感染降至zui低。

為了便于測試不同行業(yè)中無塵車間的溫濕度,我公司(宏瑞科技)自主研發(fā)生產(chǎn)了TH-40型數(shù)字式溫濕度儀。該儀器選用美國MEAS的傳感器,以數(shù)字形式顯示無塵室內(nèi)的溫濕度,測試精度高、測試準確,可廣泛應用于電子、制藥、生物技術(shù)、航空航天等生產(chǎn)、科研部門,是制藥企業(yè)和質(zhì)量監(jiān)督部門貫徹GMP規(guī)范加強生產(chǎn)環(huán)境管理的理想儀器。

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